2022年度，靶材方向团队取得丰硕成果，获批两项国家重点研发计划课题：1，高性能氧化物TFT材料与关键技术研发及产业化-量产线用氧化物靶材研制（孙本双主持，管理经费420万）；2，6N级以上超高纯稀有稀散金属制备技术-超高纯钨制备的关键技术与装备开发（李庆奎主持，管理经费 427万）。

此外授权国外发明专利4件，其中美国专利3件，日本专利1件：

--Variable-temperature and fast-sintering of alluminum-doped zinc oxide target material，US1401600B，2022；

--Method of preparing ITO ceramic target with controllable grain size，US15/930.912，2022；

--Method of preparing indium oxide spherical powder with controllable grain shape，US11479475，2022；

--粒形が制御可能な酸化インジウム球形粉体の調製方法，特許第7021795号，2022。