设备名称：桌面式表面轮廓测量仪

型号：TMS-1400

所在实验室：主校区物理学院C楼328

联系人：严谋

网站链接：https://www.hniss.cn/instrument-26346.html

设备简介：

桌面式表面轮廓测量仪在MEMS微机电器件结构方面的研究中，用于对PMUT（压电微机械超声换能器）、CMUT（电容微机械超声换能器）、微镜等微小结构进行表面轮廓测量，以便随时改进微小结构的设计。

该设备采用白光干涉原理。固定在台座上的光源发射光束经过光学头中的分光镜分成两束光，‌一束投射到样品表面并被发射，另外一束光经参考平面镜反射参考光，两束光再次通过分光镜后合成一束光，并通过干涉镜头在CCD相机感光面上形成两个叠加的像，由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面上观察到明暗相间的干涉条纹，干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置，数据管理系统可以解析出被测样品的相对高度。此时只是一个测量点的高度信息。实际使用中配备一个样品定位台，可以通过软件控制样品移动进行逐点扫描，获得被测区域内的整体轮廓信息（即高度信息）。对于尺寸较大的物体，可以通过分段测量的方法，获取样品不同区域的轮廓信息，并利用系统软件进行拼接，从而获得样品整体轮廓信息。不同倍率的干涉镜头测量精度不一样，倍率越高，测量精度也越高。寻焦单元主要用于辅助调整样品表面离镜头的距离，实现样品表面快速聚焦，进而测量样品的精细轮廓信息。最大拼接测量范围达到75mm*75mm。