一、个人简况
博士、副研究员、博导
招生专业:材料与化工
研究所/中心:先进靶材中心
联系方式:louis@zzu.edu.cn
通讯地址:河南省郑州市科学大道100号
二、教育背景(本科起,时间倒叙)
2016.09~2019.07 南开大学,凝聚态物理,博士
2014.09~2016.07 南开大学,材料科学工程,硕士
2007.09~2011.07 天津科技大学,轻化工程,本科
三、工作经历(时间倒叙)
2022.11~今 郑州大学,中原关键金属实验室,副研究员
2021.10~2022.10 郑州大学,材料科学与工程学院,直聘副研究员
2019.09~2021.10 郑州大学,材料科学与工程学院,师资博士后
四、研究领域
围绕氧化物陶瓷溅射靶材及其薄膜制备研究(氧化铟基、氧化锌基、氧化锡基、及ReBCO超导靶材),主要从事纳米复合粉体的合成、压力注浆成型高密度靶材素坯、活化烧结、靶材致密化和晶粒尺寸调控机理等研究课题。
五、科研成果
1. 代表性项目
(1) 国家自然科学基金委员会,区域创新发展联合基金(重点支持项目),U21A2065,面向高世代的长节距、高密度ITO旋转靶材制备关键科学问题研究,2022-01至2025-12,在研,项目子课题负责人,经费93万元;
(2) 河南省博士后科研项目启动经费一等,基于晶粒尺寸及相结构可控IWO陶瓷溅射靶材制备机理研究,2020-07至2021-07,在研,主持,经费10万元;
(3) 郑州大学青年人才企业合作创新团队支持计划,薄膜太阳能电池用钨钼掺杂氧化铟溅射靶材制备技术研发,2021-01至2022-12,主持,经费27万元;
(4) 横向项目,无铟靶材项目,广州众山精密科技有限公司,2024-01-2024-12,主持,经费50万元。
2. 代表性论文
(1) Yang Liu, Yongchun Shu, Benshuang Sun, Xueyun Zeng, Jinpeng Zhu*, Jianhong Yi, Jilin He. Electrochemical synthesis of In2O3 nanoparticles for fabricating ITO ceramics [J]. Ceramics International, 2019, 45(15): 19068-76.
(2) Yang Liu, Yongchun Shu, Xueyun Zeng, Benshuang Sun, Peng Liang, Yu Zhang, Chen Qiu, Jianhong Yi, Jilin He. Study on the sintering behavior and characterization of the IGZO ceramics by slip casting [J]. International Journal of Applied Ceramic Technology, 2019, 16(1): 585-594.
(3) Yang Liu, Yu Zhang, Chen Qiu, Chao Qi, Benshuang Sun, Xueyun Zeng, Jinpeng Zhu, Yongchun Shu, Jilin He. Hydrothermal synthesis and characterization of In2O3-ZnGa2O4 nanocomposites and their application in IGZO ceramics [J]. Ceramics International, 2019, 45(4): 4381–4391.
(4) Yang Liu, Benshuang Sun, Yongchun Shu, Xueyun Zeng, Jinpeng Zhu, Jianhong Yi, Jilin He. Preparation of superior IGZO ceramics by two-step sintering for application in IGZO thin film fabrication [J]. Journal of Materials Research and Technology, 2020, 9(3): 5331–5342.
(5) Xinran Li, Chaofei Liu, Benshaung Sun, Xiaokai Liu, Zhongheng Zuo, Yongchun Shu, Xueyun Zeng, Jianhong Yi, Haotian Chen, Yang Liu*, Jilin He. Refined grain size of ITO ceramic targets prepared by pressure slip casting and two-step sintering [J]. Journal of the European Ceramic Society, 2021, 41(6): 3501-3511.
(6) Chaofei Liu, Xinran Li, Xiaokai Liu, Zhongheng Zuo, Benshuang Sun, Yongchun Shu, Yang Liu*, Xueyun Zeng, Jianhong Yi, Jilin He. Sintering behavior of IZO ceramic targets prepared using hydrothermally synthesized Zn-doped In2O3 nanoparticles [J]. Ceramics International, 2021, 47(9): 12416-12424.
(7) Xiaokai Liu, Benshuang Sun, Xueyun Zeng, Zhongheng Zuo, Wenyu Zhang, Zhijun Wang, Chaofei Liu, Lijia Chen, Yongchun Shu, Yang Liu*, Jilin He, Effects of Al2O3 doping on the microstructural evolution and densification process of AZO targets, Ceramics International, 2022, 48(1):16196-16205.
(8) Wenyu Zhang, Sun Benshuang, Liu Xiaokai, Zhang Huiyu, Zhao Hetao, Shu Yongchun, Liu Yang, He Jilin. Preparing EBCO superconducting targets with uniform phase structure by pressure slip casting [J]. Ceramics International, 2023, 49(18): 29417-26.
(9) Xiaokai Liu, Sun Benshuang, Zhang Wenyu, Zhang Huiyu, Zhao Hetao, Zhao Yongge, Shu Yongchun, Liu Yang, He Jilin. Investigate the relationship between densification and grain size of IGZO target by phase‐field simulation [J]. Journal of the American Ceramic Society, 2024, 1-16.
3. 代表性专利
(1) 一种利用电解制备纳米氧化铟的方法和装置,2017-11-24,中国,ZL201711192477.4
(2) 一种铟钨氧化物靶材及其制备方法,2022-05-11,中国,ZL202210511038.X
(3) 一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法,2020-3-6,中国,ZL202010150796.4
(4) 結晶粒サイズが制御可能なITOセラミックターゲット材の調製方法,日本发明专利,特许第6963777号
(5) Method of preparing ITO ceramic target with controllable grain size,美国, US11486034B2
4. 奖励与荣誉
(1) 平板显示用高性能ITO靶材关键技术及工程化,中国有色金属工业协会,中国有色金属工业科学技术奖,一等奖,2019
(2) 基于气流粉碎和压力注浆成型技术高效回收利用ITO靶材项目,2023年第八届研究生创新创业大赛一等奖,指导老师:刘洋,孙本双
(3) 压力注浆和两步烧结制备晶粒尺寸可控的高致密ITO陶瓷靶材项目,2023年中国大学生机械工程创新创意大赛三等奖,指导老师:刘洋,孙本双
(4) 豫杨科技-世界先进高性能ITO靶材追梦者项目,2022年河南省“互联网+”大学生创新创业大赛三等奖,指导老师:孙本双,刘洋