一、采购项目名称：郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目

二、采购项目编号： 豫财招标采购-2020-1539

三、首次公告日期及发布媒介：2020年12月24日、《河南省政府采购网》、《河南省公共资源交易中心网》

四、开标时间：2021年01月14日09时00分（北京时间）

五、变更内容

1.原采购信息内容：

最高限价：600万元

现变更为：

最高限价： 400万元

2.原采购信息内容：

开标时间：2021年01月14日09时00分（北京时间）

投标截止时间：2021年01月14日09时00分（北京时间）  

开标地点：河南省公共资源交易中心远程开标室(二)-4

现变更为： 

开标时间：2021年01月26日09时00分（北京时间）

投标截止时间：2021年01月26日09时00分（北京时间）  

开标地点：河南省公共资源交易中心远程第5开标室

3.原采购信息内容：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备  5套

现变更为：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套

4.原采购信息内容：

第四章 项目需求及技术参数要求 

3.1 配有4条气路，每条气路含有一个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2 气路及最大流量分别为：氢气1000 sccm、氧气20 sccm、甲烷100 sccm、氮气2 sccm；

5.1 旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；

5.2 极限真空：0.1 Pa；

★  5.3 真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.

注：投标人提供微波源品牌。

现变更为：

项目需求及技术参数要求  

3.1 配有5条气路，每条气路含有一个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2 气路及最大流量分别为：氢气1000 sccm、氧气20 sccm、甲烷100 sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；

★  5.1  采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤240 L/s。

5.2  从大气压抽到6×10-7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2×10-7 mbar。

5.3 真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.

注：投标人提供微波源及分子泵品牌。

 上述变更内容，招标文件涉及处均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！

六、联系方式  

1.采购人：郑州大学

联系人：杨老师

联系电话：0371-61656113

地址：郑州市高新技术产业开发区科学大道100号

2.采购代理机构：河南正霖招标代理有限公司

联系人： 何女士

联系电话：0371-66851771

地址：郑州市高新区翠竹街总部企业基地121号楼5层

   河南正霖招标代理有限公司

2021年01月 08日