物理学院、中原之光实验室惰性气体手套箱及有机/金属蒸镀仪一体化设备采购项目等1项

作者: 时间:2024-08-09 点击数:

为便于供应商及时了解政府采购信息, 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 (财库〔2020〕10号)等有关规定,现将物理学院、中原之光实验室惰性气体手套箱及有机/金属蒸镀仪一体化设备采购项目等1项政府采购意向公开如下:

序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 CGYX202400389 物理学院、中原之光实验室惰性气体手套箱及有机/金属蒸镀仪一体化设备采购项目 惰性气体手套箱及有机/金属蒸镀仪一体化设备,需要保证在无空气、惰性气体环境下进行半导体器件制备,包含两个手套箱、一套蒸镀仪器。 70 2024年09月 要求手套箱中惰性气体环境湿度低于1 ppm, 氧气含量低于1 ppm. 泄漏率:小于0.001vol%/h;带制冷降温及除静电功能。蒸镀仪基板最大尺寸系统洁净、 空置时低于4.0×10-5 Pa; 从常压到5×10-4 Pa不超过30min;单内膜厚均匀性误差为 5%。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

2024年08月09日


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