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物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等1项

作者： 时间：2025-06-11 点击数：

为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目等1项政府采购意向公开如下：

序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 CGYX202500183 物理学院、中原之光实验室电子束蒸发镀膜仪采购项目 真空腔室： 500x500x500mm (SUS304)。前后门（6061铝）带φ80mm观察窗：前门自动平移，后门手动（6把手）。抽气口DN200（带过滤），接口：底部电子枪，顶部ISO250。烘烤：≤150℃。带DN30窗及LED。漏率<1 .0×10？1？pa·m3/s。 抽气与真空： 分子泵(1200l/s) + 机泵(6l/s)。极限真空<6.7e-5pa (40分钟恢复至6.7e-4pa)。阀门：kf40气动角阀（预抽/前级），dn250插板阀（主）。复合真空计（大气~1e-5pa）。 电子枪(sebg-203a)： 加速电压-4kv~-10kv (6kw/1.5a)。270°偏转。扫描范围±20mm (x50hz/y500hz)。操作真空<7×10？2pa。水冷5~8l/min。配6*4cc坩埚及手操器。 样品台： 6英寸兼容。旋转(0-20rpm)，升降（步进/10cm）。水冷（不控温）。电动挡板。 膜厚仪: inficon sqc-310 (基板侧晶体/快换ubqd)。速率分辨率<0.01？/s。 水冷保护： 总进出水接10~25℃制冷机。出水水流传感器异常报警。 控制: 15寸触摸屏+plc。控：泵阀启停/状态、互锁（抽/放）、实时温度（设置/显示曲线）、挡板位置。声光报警（水压/气压/门位/分子泵/膜厚探头）。急停：关主阀/分子泵/电源。 功能： 自动抽真空/停机，工艺手动。 55 2025年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

2025年06月11日


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