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材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项

作者： 时间：2025-06-27 点击数：

为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项政府采购意向公开如下：

序号 意向编号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(万元) 预计采购日期 备注
1 CGYX202500212 材料科学与工程学院直写光刻机采购项目 1. 采购标的名称 直写光刻机 2. 主要功能或目标 支持无掩模光刻，可直接通过计算机控制曝光图形，适用于小批量、高精度、快速原型制作。 具备高分辨率（≤1 μm）及高套刻精度（≤±500 nm），满足微纳加工、MEMS、光子芯片、科研实验等需求。 兼容多种光刻胶（正胶/负胶）及衬底材料（硅片、玻璃、柔性基板等）。 3. 采购数量：1台 4. 质量及技术要求 分辨率：≤1 μm（最优可达800 nm以下）。 曝光面积：支持≥4英寸晶圆或定制尺寸基板。 对准精度：≤±500 nm（具备自动对准功能）。 光源波长：紫外波段（365-405 nm）。 稳定性：连续工作8小时以上无漂移，环境温湿度适应性（20~40°C，湿度40~60%）。 5. 服务要求 安装调试：供应商需提供现场安装、校准及操作培训。 技术维护：保修期≥1年，关键部件保修≥2年。响应时间≤48小时。 备件供应：保障至少5年的耗材供应。 6. 安全要求 符合国际电气安全标准。 具备辐射防护措施。 提供安全操作手册及应急预案。 7. 交付时限 合同签订后≤3个月完成交付（含运输、清关及安装）。 不可抗力因素需提前书面说明并协商调整。 90 2025年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

2025年06月27日


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