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物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目等1项

作者：时间：2020-11-23 点击数：

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目等1项政府采购意向公开如下：

序号	意向编号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	CGYX202000351	物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目	郑州大学物理学院拟采购微波等离子体化学气相沉积设备。目前人工合成金刚石单晶主要是用高温高压法（HTHP）和化学气相沉积法（CVD）合成。前者通常以石墨为原料，在铁镍等催化剂作用下，通过高温高压生成金刚石材料。由于使用催化剂等物质，这种方法合成的金刚石通常含有较高的杂质浓度。相反，利用CVD方法合成的金刚石单晶纯度高、杂质少、光学和电学性质优异，同时此方法兼容半导体掺杂和器件制作工艺，被认为是实现金刚石光电材料与器件最有希望的手段。然而目前微波等离子体CVD生长金刚石研究仍处于初级阶段。课题组前期已经进行相关生长工艺研究，掌握了良好的生长经验，为实现规模化金刚石单晶和多晶生长技术研究，急需购置系列微波等离子体化学气相沉积设备，以便进行生长工艺研究，推动金刚石CVD生长产业化进程。	600	2021年01月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

2020年11月23日