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材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项

作者：时间：2021-11-19 点击数：

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项政府采购意向公开如下：

序号	意向编号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	CGYX202101185	材料科学与工程学院直写光刻机采购项目	采购标名称：材料科学与工程学院直写光刻机项目主要功能： 1. 曝光波长：405nm LED（不低于18W） 2. 数字掩模板分辨率：不低于19201080像素，且单个像素尺寸不超过7.6um 3. 光刻精度：20X紫外物镜：优于3μm；50X紫外物镜：优于2μm 4. 高精度电动物镜切换线轨，可实现至少2个物镜的快速切换（<1 秒），且重复定位精度优于500nm。 5. 自动寻焦模组，精度优于100nm； 6. 调焦台运动行程：不小于15mm 7. 精准套刻：有，精度优于1μm。 8. 套刻对准精度：优于200nm 9. 套刻指引：460nm/520nm/620nm，可实时虚拟曝光投影，实现所见即所得的效果。 10. 支持基片尺寸：5mm×5mm（最小）；100mm×100mm（最大） 11. xy拼接台位移精度:优于100nm（直线光栅尺精度） a) 拼接台行程：不小于100mm b) 运动台绝对精度：±1μm c) 位移台类型：闭环控制的直线驱动电动平台（无丝杠导轨，无回程差） 12. 软件：全自动光刻软件，可做线宽测量，智能位置移动。 13. 设备尺寸：不超过70厘米×75厘米×70厘米 14. 设备重量：120±10千克 15. 设备外壳：uv防护外壳 16. 附属配件：含光学平台，真空泵 17. *环境控制：机体内含电子除湿装置。	65	2022年02月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

2021年11月19日