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靶材的溅射行为严重影响靶材的使用寿命及其溅射薄膜性能,为了提高IGZO靶材的溅射性能和利用率,中原关键金属实验室先进靶材研究团队对IGZO靶材的溅射行为进行了深入研究,为提高靶材性能及利用率提供理论指导。                                               图1.随溅射时间延长靶材表面的变化:(a)0h; (b)10h; (c)15h; (d)20h; (e)25h; (f)30h铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜以其优越的可见光透过率和导电性被广泛应用于各种显示...
2022-04-05
近日,中原关键金属实验室宋建勋副教授团队在Energy & Environmental Materials(SCI一区,IF15.122)期刊发表名为“Advances in molten salt synthesis of non-oxide materials”的综述性文章。 随着熔盐法的不断发展,其在材料合成方面的应用越来越广泛,通过熔盐法制备的非氧化物材料种类越来越多,熔盐的作用在不断被发现,熔盐与反应物的相互作用越来越多的被研究和发现,熔盐法的工艺不断在改进,其定义也在不断被拓...
2022-01-20
11月3日,2020年度国家科学技术奖励大会在人民大会堂隆重召开。郑州大学主持完成的“平板显示用高性能ITO靶材制备关键技术及工程化”项目荣获2020年度国家技术发明奖二等奖,项目主持人为何季麟院士,材料科学与工程学院孙本双教授和舒永春教授等为主要完成人。氧化铟锡材料,简称ITO,是应用于液晶、有机发光显示和触控面板等的重要基材。中国是铟资源大国,但相关研发滞后,国际上80%的靶材市场被日韩等国垄断,能否建立ITO靶...
2021-11-03
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