飞秒激光直写系统

发布者:发布时间:2026-03-04点击数:

整套设备由高重频飞秒激光器(Coherent/Monaco 1035-80-60)、光波导加工系统Uptek)、以及波导阵列模式分析仪组成。

高重频飞秒激光器和光波导加工系统用于在玻璃中加工三维任意形状的波导阵列,其中加工出的单根波导的直径可满足5-30um范围内可调,波导长度能达到10cm,波导折射率可小范围调节,单根波导的损耗系数小于0.1dB/cm。波导近场模式分析仪用于探测加工好的波导导光模式以及光在波导阵列中的传输特性。


      



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