设备名称：显微式激光测振仪;型号：MSA-600-X/U

测量目的和原理：

该设备主要用于微机电器件结构方面的研究，集多种测量功能于一体，其不仅能测量面内振动和面外振动，测量位移分辨率达飞米量级，还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的研究发展需要。显微式激光测振仪还可以提供精确的三维动态和静态响应数据。

测振仪的面外振动测量利用激光多普勒测量技术，可以非接触式的测量结构表面的振动速度。主要原理是一束激光（波长λ）照到振动物体表面，反射回来的激光频率发生变化（即多普勒频移f_D），该频移量与物体的运动速度v成正比，f_D=2v/λ，测出多普勒频移f_D，即可以计算出物体的振动速度v。设备工作时，内置信号发生器产生一个电信号，通过压电材料转化为物体振动信息，光学头产生激光，通过光学头前端（固定在光学头支架上）发出，并经过振动测试镜头将激光照到振动的物体表面，此时激光会发生反射，反射光束进入到前端镜头，利用机械干涉器可以得到发射光频率的变化信息，通过信号处理器将其转化为物体表面的振动信号。振动信号被数据管理系统采集，最后输出物体表面的振动速度及模态振型。XY试样定位台可用于固定被测物体，通过软件控制物体在XY平面移动，从而获得不同位置的振动信息。面内振动测量则采用视频闪频原理。即仪器通过光学头内置的高速频闪摄像头连续拍照，当拍照速度足够快时，可以反映出样品表面振动随时间演化的关系。将采集到的图片通过数据管理系统进行图像分析，即可显示结构的面内振动位移大小。