答辩会主席： 陈大鹏，中国科学院微电子研究所，研究员，博士生导师 研究方向：集成电路先导工艺技术、MEMS传感器技术、物联网工程与技术
答辩委员会委员： 彭良强，中国科学院高能物理研究所，研究员，硕士生导师 研究方向：大装置管理
傅剑宇，中国科学院微电子研究所，副研究员，硕士生导师 研究方向：微机电系统、光电器件
欧文，无锡物联网创新中心有限公司，研究员，硕士生导师 研究方向：集成电路先导工艺技术、
MEMS传感器技术
陈寿峰，中国铁塔股份有限公司无锡市分公司，高级工程师，硕士生导师 研究方向：物联网技术
答辩秘书：潘焱，无锡物联网创新中心有限公司，助理工程师，zhaozhilan19870515@163.com |
